UL3000 Fab 可移動(dòng)式英?？岛鈾z漏儀

UL3000 Fab 可移動(dòng)式英?？岛鈾z漏儀

UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。

·較早地起始泄漏檢查，由于HYDRO·S軟件限制水蒸汽本底，使它有可能快速進(jìn)入高靈敏的測量范圍。

·快速抽空，由于對空氣的高抽速。

·低使用成本(TCO)由于無(wú)需維護的羅茨粗抽泵。

低的運行和維護成本

維護費用低，使用壽命長(cháng):

·堅實(shí)耐用的真空系統

·加固的離子源,長(cháng)達三年保修期

易于進(jìn)入應用區域

·小型和堅實(shí)的結構,穩定和良好的移動(dòng)性

·重心低，易搬運

·大膠輪,易于翻越障碼物

典型的應用

■INFICON 檢漏儀日常用于大型半導體生產(chǎn)中

■各種過(guò)程工藝包括:刻蝕.CVD,PVD,真空爐,離子注入，MOCVD,太陽(yáng)能,FPD 等

■工藝維護后快速確認工藝的完整性和應修復的漏孔部位

■在次級生產(chǎn)中的真空管線(xiàn)和泵

■氣柜和復雜的氣體輸送管線(xiàn)

■生產(chǎn)設施和治理

易檢測大漏孔

可非?？斓貦z測大漏孔,由于不再需要等待系統抽空。這得益于:

■大漏檢測功能(專(zhuān)用的泵/閥組功能)

UL3000 Fab 可移動(dòng)式英?？岛鈾z漏儀

您的泄漏檢測解決方案專(zhuān)家

INFICON可為高度專(zhuān)業(yè)化行業(yè)中要求極為苛刻的真空過(guò)程提供權球嶺先的測量和傳感器技術(shù)及過(guò)程管理服務(wù)。特別是在制冷和空調技術(shù),半導體制造和汽車(chē)生產(chǎn)等領(lǐng)域，INFICON的氣體泄漏檢測產(chǎn)品有著(zhù)廣泛應用。

有INFICON 在您的身邊,您就有了一個(gè)專(zhuān)家顧問(wèn),他對您所在行業(yè)所面對的挑戰了如指掌,可與您一同找出適合您需求的最加解決方案。INFICON 的眾多分公司遍布權球，專(zhuān)家專(zhuān)業(yè)全威，確保提供最ding級的服務(wù)和最到位的支持。INFICON 不但在美國和歐洲建有技術(shù)先近的制造工廠(chǎng)，而且在中國,中國臺灣,法國,德國,日本,韓國,列支敦士登,新加坡,瑞士,英國和美國設有分公司。

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